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技术参数
感应加热系统 |
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铜坩埚
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循环水冷设备 |
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石英管和真空密封法兰 |
真空度: 10-2 torr (用机械泵) 10-5 torr (用分子泵) |
真空泵 | 一台双旋机械泵,已经被安装在壳体内部. |
标准工作配制
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质保期 | 一年质保期 |
| 质量认证 |
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